蒸汽噴射真空泵是利用流體流動時的靜壓能與動能相互轉(zhuǎn)換的氣體動力學原理來形成真空。具有一定壓力的水蒸汽通過拉瓦爾噴嘴喉徑時達到聲速, 到噴嘴的擴散部時, 靜壓能全部轉(zhuǎn)化為動能, 達到超聲速, 同時噴嘴出口處形成真空, 被抽氣體在壓差的作用下, 被抽入吸入室, 和以超聲速的蒸汽一邊混合一邊進入文丘里管, 然后以亞聲速從文丘里的擴散管排出, 同時混合的氣體速度逐漸降低, 壓力隨之升高, 而后從排出口排出。如果將幾個噴射泵串聯(lián)起來使用, 泵與泵中間加入冷凝器使蒸汽冷凝, 便可得到更高的真空度。整臺蒸汽噴射真空泵由若干級泵體與冷凝器兩大部分組成。各級泵體均由噴嘴、入室及擴壓器組成, 噴嘴可以是單只, 也可以是多只, 噴嘴一般采用不銹鋼材料, 吸入室和擴壓器等其它部件可采用不銹鋼、鑄鐵及碳鋼等材料。