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肯富來(lái)真空泵污染的形成及其影響
肯富來(lái)真空泵裝置由許多不同的零件組成，它們都是經(jīng)過(guò)各種機(jī)械加工完成的，如車(chē)、銑、刨、磨、銼、焊接等。這樣，零件表面不可避免地會(huì)沾上許多加工油脂、汗痕、拋光膏、焊劑、金屬屑、油垢等污染物。這些污染物在真空中易揮發(fā)，影響真空設(shè)備的極限真空。此外，污染物在大氣壓下吸附了大量的氣體，在真空環(huán)境中，這些氣體也要被釋放出來(lái)。構(gòu)成了限制真空設(shè)備極限真空的因素。為此，零件組裝前必須清除掉污染物。
真空裝置使用過(guò)程中，零件還會(huì)受到污染。這種污染與使用條件及真空泵有關(guān)。如真空干燥系統(tǒng)，經(jīng)常使用后會(huì)受到蒸發(fā)出來(lái)的物質(zhì)的污染；真空鍍膜機(jī)的內(nèi)壁會(huì)被蒸鍍材料污染；
離子束刻蝕設(shè)備的內(nèi)壁會(huì)被工件濺射的濺散物污染；真空中電子槍的燈絲，由于高溫蒸發(fā)會(huì)使其附近表面形成金屬膜；規(guī)管燈絲在高溫下蒸發(fā)，使陶瓷絕緣子上形成薄膜，破壞絕緣強(qiáng)度，影響測(cè)量的準(zhǔn)確性。真空系統(tǒng)中的機(jī)械泵油和擴(kuò)散泵油更是污染源，設(shè)備長(zhǎng)期工作后會(huì)使設(shè)備內(nèi)部形成明顯的油膜。這些污染同樣會(huì)影響設(shè)備的性能，應(yīng)該注意隨時(shí)清除。
超高真空系統(tǒng)中，清潔處理更為重要。良好的清潔處理工藝，可以使材料放氣率降低幾個(gè)數(shù)量級(jí)。如不銹鋼長(zhǎng)期暴露于大氣后，不進(jìn)行任何處理，抽氣1h后的出氣率為2.7x10-1Pa•L/(s•m2)，清除油污后抽氣4h，可降到1.3x10-3Pa•L/(s•m2)。在250℃下烘烤15h，出氣率進(jìn)一步降到1.3x10-6Pa•L/(s•m2)。好的清潔處理工藝，可以提高設(shè)備的極限真空。
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